本网讯 2022年12月29日，我校微纳结构加工测试平台通过专家组验收，作为目前国内先进的原子尺度表征的材料测试、分析、加工一体化平台，可有效提升我校在微纳结构分析领域的影响力，为我校学科建设、科学研究、服务社会及人才培养提供强有力的技术保障。
验收会议上，专家组听取了项目开展情况及设备到货、安装调试、试运行及性能与技术指标等相关汇报，查看了设备清单、仪器品牌、型号规格等资料，就仪器设备的性能参数指标和功能实现情况进行了质询，专家组认为平台设备的技术、性能指标达到技术协议的要求，同意通过验收。
我校微纳结构加工测试平台包括球差校正透射电镜、超快透射电镜、聚焦离子束显微镜、场发射扫描电镜四台设备。
双球差校正透射电镜
硅的（110）取向，原子排列。拍摄条件为工作电压300kV，放大倍数7.2Mx，HAADF-STEM模式，三阶球差系数为-0.006mm，电子束汇聚半角为25.3mrad。
